Dela med sig:
på 2024/05/17
Sumitomo Heavy Industries kommer att lansera Sic Ion Implantation Machines i Japan
Enligt utländska medierapporter kommer Sumitomo Heavy Industries dotterbolag, Sumitomo Ion Technology, att lansera jonimplantationsmaskiner för Silicon Carbide (SIC) kraftförledare på marknaden redan 2025.
Det mesta av utrustningen som används i SIC-processen är densamma som traditionella kiselproduktionslinjer, men på grund av den höga hårdheten hos SIC krävs specialproduktionsutrustning, såsom jonimonimplantationsmaskiner med högtemperatur, kolfilmfilm, massproduktionshög-temperatur glödgningsugnar, etc. Bland dem är närvaron av jon implantationsmaskiner med hög temperatur ett viktigt kriterium för att mäta SIC-produktionslinjer.
Enligt rapporten injicerar jonimplantationsutrustning föroreningsjoner såsom fosfor och bor i skivan för att ändra dess elektriska egenskaper.För kiselskivor utförs värmebehandling efter jonimplantation för att återställa kristallinitet.För SIC är det emellertid svårt att återställa kristallinitet enbart genom värmebehandling efter jonimplantation.Den vanliga metoden är att värma SIC -chipet till cirka 500 grader Celsius och sedan utföra jonimplantation och värmebehandling.På grund av dess komplexa driftsprocess har SIC -halvledare problemet med lägre utbyte än kiselhalvledare.
Den här gången planerar Sumitomo Heavy Industries Ion Technology för att förbättra jonimplantationsmetoden för sina lanserade produkter, samtidigt som SIC -kvaliteten upprätthålls och ökar produktionen.
På grund av faktorer som hög teknisk svårighet och svår processvalidering finns det höga konkurrenskraftiga hinder och hög industrikoncentration inom jonimplantationsmaskinindustrin.Sammantaget är hela marknaden främst monopoliserad av American Applied Materials Company och American Axcelis Company, som står för mer än 70% av den globala marknaden.
De senaste uppgifterna från Trendforce Consulting visar att SIC fortfarande påskyndar sin penetration på applikationsmarknader som bilar och förnybar energi där krafttäthet och effektivitet är oerhört viktiga.Den totala efterfrågan på marknaden kommer att upprätthålla en tillväxttrend under de kommande åren, och det uppskattas att den globala marknadsstorleken för SIC Power Device förväntas nå 9,17 miljarder dollar 2028.