Dela med sig:
på 2024/04/19
Intel slutför monteringen av den första kommersiella höga numeriska bländaren EUV -litografimaskin
Semiconductor Giant Intel meddelade den 18: e att den har slutfört montering av branschens första kommersiella höga numeriska bländare Extreme Ultraviolet (High-NA EUV) litografimaskin vid sitt forsknings- och utvecklingscenter i Oregon.
Halvledarutrustningstillverkare ASML publicerade bilder på social plattform X i slutet av förra året, vilket visade början på att leverera de viktigaste delarna av det första höga numeriska bländaren EUV -systemet till Intel.Nu har Intel meddelat att den har slutfört församlingen och visar en tydlig avsikt att leda sina konkurrenter.
Efter att ha utvecklat 5 processnoder på fyra år och förväntat sig mest avancerade för att nå Intel 18A -processen planerar Intel att officiellt införa användningen av hög numerisk öppning av EUV i sin Intel 14A -process i framtiden.Enligt analytikerberäkningar var priset på denna höga numeriska öppningsanordning cirka 250 miljoner euro.
Intel avslöjade nyligen att den kommer att utveckla 14A-processen och Intel 14A-E-processen före 2027.
Intel betonar att den höga numeriska bländaren EUV -enheten Twinscan EXE: 5000 för närvarande genomgår kalibrering, och denna enhet, i kombination med annan teknik inom företagets skivfabrik, förväntas producera funktioner 1,7 gånger mindre än befintliga EUV -enheter.
Samtidigt nämnde Intel att företaget också har planerat att köpa nästa generations Twinscan EXE: 5200B -system i framtiden.